仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
等离子清洗主要用于清洗样品表面的碳氢化合物.等离子清洗的关键要点在于：不能改变样品本身的化学组成;不能改变样品的结构特征;不能损伤样品表面.
主要技术指标：
气体控制：采用精确的质量流量计来测量及控制气体流量
气体种类：采用三路独立气体（H2，O2和Ar）
清洗配方：提供包含有H2/O2配方等一系列配方，同时支持用户自定义配方
用户界面：采用交互式触摸屏，提供包含有中文、英文等多种语言界面
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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