
高纯度镀膜材料分析与工艺提升研究
新材料、分析
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服务分类:检验测试
绑定仪器:红外光谱仪( infrared spectrometer);激光拉曼光谱仪 (laser-Raman spectrum);场发射扫描电子显微镜 Field emission scanning electron microscopy;聚焦双束扫描电镜 (FIB-SEM-EDS);电感耦合等离子体发射光谱仪Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometer;
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对5N级以上高纯度镀膜材料进行表征分析,并针对线上工艺流程进行异常分析检测,为高纯度镀膜材料制备工艺改进提供指导建议,解决我国半导体用5N级高纯度镀膜材料分析技术瓶颈,形成具有自主知识产权的技术改进解决方案。
适用范围
高纯度镀膜材料
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姓名:王涛
手机号码:18151781656
邮箱:lil@jitriioo.com
地址:苏州市吴江区汾湖大道1198号