仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
台阶轮廓仪可测量各种透明或不透明的薄膜，是薄膜厚膜工艺研究的必备手段，可测量薄膜膜厚，测量薄膜应力，测量薄膜粗糙度轮廓，测量大范围的平整度，翘曲度，测量MEMS等各种微纳器件的三维结构。
主要技术指标：
功能/应用范围：
台阶轮廓仪可测量各种透明或不透明的薄膜，是薄膜厚膜工艺研究的必备手段，可测量薄膜膜厚，测量薄膜应力，测量薄膜粗糙度轮廓，测量大范围的平整度，翘曲度，测量MEMS等各种微纳器件的三维结构。
主要附件：
探针
主要技术指标：
0.03mg的超微力技术; 亚埃级的高分辨率；150x150mm的平晶作为扫描基准；闭环运动控制和测量。
技术特色：
材料制备与分析
服务实例：
暂无
服务内容：
服务典型成果：
无
用户须知：
对外服务时间:周一到周五。参数：0.03mg的超微力技术; 亚埃级的高分辨率；150x150mm的平晶作为扫描基准；闭环运动控制和测量。。附件：探针
收费标准：
面议