0512-65246055创新赋能专项行动丨科研仪器共享①中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 时间：2025-02-26 13:22:42
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为深入贯彻落实创新驱动发展战略，推动研发机构提质增效，提高科技资源利用效率，降低企业研发成本，苏州科技推出《创新赋能专项行动—科研仪器共享》专栏。
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2006年由中国科学院与江苏省人民政府、苏州市人民政府和苏州工业园区共同创建，致力于纳米技术的应用基础研究和产业化。目前，围绕电子信息、功能材料、生物医学重点研究领域，建设了纳米真空互联实验站、纳米加工平台、测试分析平台、生化平台4个集科研攻关与公共服务于一体的公共技术平台，拥有超净实验室超1万平方米，各类设备200余台套，原值超4亿元，有力支持生物医药、新材料企业完成硅MEMS、宽禁带半导体氮化镓、碳化硅等领域的研发。 光刻机NSR2205I12D 主要用于高分辨率、高套刻精度、大批量样品曝光。 
高能离子注入机 主要用于硅、锗、氮化镓、碳化硅等半导体材料的离子注入工艺。 
高精度化学机械抛光机 适用于8inch及以下晶圆CMP工艺。 
离子束修频(SCIATRIM200) 主要用于完成局部区域化的刻蚀，可根据内部Chuck尺寸设定，实现6和8inch标准wafer兼容；He冷背板设计，实现低能量、超高均匀性、高刻蚀速率工艺加工。 
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