仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
1.制备金属、半导体、绝缘体薄膜 2.制备金属、半导体纳米结构
主要技术指标：
1. 16*16腔体 2.极限真空达到5*10E-7 3.1KW直流电源一台，300 W射频电源两台 4.向下溅射结构
服务内容：
样品制备
服务典型成果：
无
用户须知：
苏州大学大型精密贵重仪器设备管理办法
苏州大学大型仪器设备收费管理暂行办法
苏州大学大型仪器设备共享管理办法（试行）
收费标准：
面议