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功能/应用范围：
DISCOVERY-24 SPUTTERING SYSTEM是集DC、 RF和共溅射于一体的薄膜沉积设备，衬底可加热去气和等离子清洗，提高了薄膜与基板的附着力，它有四个阴极，可进行多功能复合膜的制作，非常适用于凸点UBM和各种基板的薄膜金属化。
主要技术指标：
1 极限真空：10-8Torr。2 膜的均匀性：5%。3 基板加热温度：400℃。4 基板尺寸：6英寸。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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