仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
可以将材料通过真空沉积到膜上
主要技术指标：
1．反应腔 304或316 不锈钢。可以生长最大6 英寸样品的腔体，氮气保护的双O-Ring 高温密封系统，有效隔绝其他气体渗漏。基底加热温度RT-400℃可控，控制精度±1℃。腔体烘烤温度RT-200℃可控，控制精度±1℃。
2．沉积模式 包括至少以下二种工作模式： 高速沉积的连续模式，沉积超高宽深比结构的停流模式。
3．前驱体源输运系统 共6路前驱体源，1路为常温源，接水和臭氧；5路为加热源，加热温度RT-200℃可控，控制精度±1℃。加热源配备耐高温(325°C) 世伟洛克手动阀，前驱体源瓶体积50
服务内容：
器件制备
服务典型成果：
无
用户须知：
苏州大学大型精密贵重仪器设备管理办法
苏州大学大型仪器设备收费管理暂行办法
苏州大学大型仪器设备共享管理办法（试行）
收费标准：
面议