仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
用于测量台阶高度和表面纹理，还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。
主要技术指标：
Microhead 5 SR 超稳定电容型探头，垂直测量范围 327 μm；系统具有300mm口径的超大超平整平晶；单线最大扫描长度200 mm；单线测量采样点可达400万个；XY 运动台闭环控制误差<1um, 闭环自动移动范围不少于200x200mm；最高垂直分辨率0.01Å(13μm档) 327μm档分辨率 < 0.20 Å；台阶高度重复性 4Å @ 1μm标样，无需防震台。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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