仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
1. 三维表面纹理微观结构的测量、图形显示与分析
2. 三维表面粗糙度的分析
3. 表面纹理缺陷分析
4. 具有图像拼接功能（X、Y、Z方向）
5. 测量体积、面积、台阶（三维或者两维）高度、距离、圆弧半径等
6. 平面度测量和分析
主要技术指标：
1. 测量最大范围（X-Y轴）：6.6mm x 6.6mm（2.5倍物镜）
1.65mm x 1.65mm（10倍物镜）
0.33mm x 0.33mm（50倍物镜）
2. 测量最大高度（Z轴）：9.3mm（5倍物镜）
7.4mm（10倍物镜）
2.2mm-标准
3. 垂直分辨率：0.01nm
4. 台阶重复测量精度：小于0.1%
5. Z方向重复性：小于0.02nm
6. 样品表面反射率：0.3%-100%
7. 测量时间：典型为5-40秒
8. XY工作台直线度：0.8um/100mm
9. 环境温度 20度
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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