仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
金属铟薄膜生长
主要技术指标：
1）工件台尺寸 圆形工件台，直径200毫米（8英寸）
2）装载量 可装载一个8英寸样品或更小尺寸样品
3）极限真空 优于2E-5Pa
4）抽气速率 工艺腔从大气抽到6E-4Pa的时间少于30分钟
漏率 优于6E-3Pa.L/s
5）蒸铟最大入射角 小于7°
6）工件台控温 -50℃至室温可调
7）工件台转速 0至20转/分钟可调
8）镀膜均匀性 直径200毫米（8英寸）范围内均匀性优于±5%
9）镀膜重复性 批次间重复性优于±2%
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
询价