仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
本设备需实现200mm方片基板的刻蚀、清洗，实现高精度线宽控制、大宽长比、高均匀性侧壁断面控制等多方面性能要求。
主要技术指标：
刻蚀均匀性指标：刻蚀ITO≤a±3%，刻蚀Mo≤a±5%，初始均匀性为a。
服务内容：
无
服务典型成果：
无
用户须知：
收费标准：
面议