仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
SUSS匀胶机常用于各种溶胶凝胶实验中的薄膜制作，需要旋涂的基片和的旋涂胶液间的粘滞系数不同，厚度也会有所不同，同时旋涂的时间和转速也会对厚度有不同的影响。
主要技术指标：
可以自动定量滴加光刻胶（支持的光刻胶年度在10cp-500cp）,也可以实验手动滴加光刻胶；匀胶的时间可以在0.1s到999s范围内调整且连续；满足旋涂3mm到150mm直径范围的样品；稳定的转速范围可在50转/分到8000转/分，加速范围从50rpm/s到4000rpm/s;膜厚的均匀性在2%（Resist AZ5214E，1um）。
服务内容：
样品图形化加工
服务典型成果：
用户须知：
遵照中国科学技术大学公共实验中心对外共享统一规定
收费标准：
面议