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台阶仪
型号:DektakXT
制造厂商:美国布鲁克公司
购置日期:
生产国别:美国
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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
主要用于薄膜厚度测定、薄膜粗糙度鉴定等方面的应用。
主要技术指标:
测量功能:二维表面轮廓测量;样品视景:可选放大倍率,1to4mmFOV;探针传感器:低惯量传感器(LIS3);探针压力:使用LIS3传感器:1至15mg;探针选项:探针曲率半径可选范围:50nm至25μm;高径比(HAR)针尖:10μm×2μm;样品X/Y载物台:手动X-Y平移:100mm(4英寸);扫描长度范围:55mm(2英寸);每次扫描数据点:最多可达120000数据点;最大样品厚度:50mm(2英寸);台阶高度重现性:<4埃,1sigma在1μm垂直范围下);输入电压:100-240VAC,50-60Hz;温度范围,运行范围:20到25℃;湿度范围:≤80%,无冷凝
服务内容:
服务典型成果:
用户须知:
对外服务时间:9:00-16:00。参数:测量功能:二维表面轮廓测量;样品视景:可选放大倍率,1to4mmFOV;探针传感器:低惯量传感器(LIS3);探针压力:使用LIS3传感器:1至15mg;探针选项:探针曲率半径可选范围:50nm至25μm;高径比(HAR)针尖:10μm×2μm;样品X/Y载物台:手动X-Y平移:100mm(4英寸);扫描长度范围:55mm(2英寸);每次扫描数据点:最多可达120000数据点;最大样品厚度:50mm(2英寸);台阶高度重现性:<4埃,1sigma在1μm垂直范围下);输入电压:100-240VAC,50-60Hz;温度范围,运行范围:20到25℃;湿度范围:≤80%,无冷凝。附件:无
收费标准:
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