仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
超声扫描显微镜设备主要应用于半导体、材料科学等行业领域的无损检测,可以检测到的缺陷主要有：Delamination (离层）,Package Crack (塑封裂纹）,Die Crack (硅片裂纹）,Void (空洞）,Tilt (硅片倾斜）d等缺陷
主要技术指标：
设备型号： OKOS（美国）VUE 400-P
扫描模式： A-Scan (点扫描)、B-Scan (截面扫描)、C-Scan、Multi-Scan (多层扫描)、T-Scan (穿透式扫描)、Tray-Scan (盘扫描)、SALI-Scan(断层显微成象扫描)
最大分辨率： 10000X10000像素
最大扫描区域： 380mmX350mmX50mm(xyz)
检测最小间隙厚度： 0.13um
超声波探头频率： 10-220MHz
设备尺寸： 860mm x 900mm x 1180mm(dwh)
服务内容：
服务典型成果：
无
用户须知：
对外服务时间:8:30～17:30。参数：最高探头频率：230MHz、8mm焦距
分辨率：0.5µm
时间门限最小：1ns。附件：无
收费标准：
面议