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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
半导体参数分析仪是一款能进行器件、材料或过程电气特性分析的模块化全集成参数分析仪。利用多个测量槽和内置低噪声接地单元,可以根据测试要求进行精密配置和测量。
主要技术指标:
配备2个中功率直流IV测量单元:电流表测试量程/分辨率/精度(最小:100nA/50fA/30pA,最大:105mA/50nA/3uA)电流源输出量程/分辨率/精度(最小:100nA/5pA/30pA,最大:105mA/5uA/15uA)电压表测试量程/分辨率/精度(最小:200mV/1uV/100uV,最大:210V/200uV/3mV)电压源输出量程/分辨率/精度(最小:200mV/5uV/150uV,最大:210V/5mV/15mV);配备1个CV测量单元;可测量Cp-G, Cp-D, Cs-D,
服务内容:
无
服务典型成果:
无
用户须知:
对外服务时间:。参数:。附件:
收费标准:
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