
仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
可测定波长范围从280nm-2300nm的透射和反射光谱;
在同一区域可同时测定T和R值;
可对折射率(n),吸收系数(k) 和厚度(d)进行准确测定;
样品可在X-Y扫描台上进行扫描;
入射光角度可以是固定角度、多角度和从0°-90°的连续变化的角度;
可用s-、p-或非偏振光作为入射光对T和R进行测定;
可对透明基片进行测定且不需要对样品进行前处理;
内建的材料数据库;
密封的样品室;
可选择散射模式;
具有在线或离线分析功能。
主要技术指标:
光谱范围:nkd-8000v 280nm-1000nm ( 紫外增强型)
光谱分辨率:1nm或2nm
光源:150W 氙弧灯
薄膜厚度范围: 5nm-20um,取决于角度、偏振和波长1nm 需要增加椭偏模块
基 片:透明、半透明或半吸收或半导体
精 确 度: 对于半吸收薄膜 薄膜厚度<3%,折射率<1%,消光系数<3%
对于金属薄膜,薄膜厚度<3%,折射率<3%,消光系数<3%
重 现 性:透射率<0.1%反射率<1%折射系数<0.1%
入射光角度 30°、50°或70°
样品上的光斑尺寸 5mm
电 源 220V,50Hz,2A 或110V,60Hz,3A
服务内容:
无
服务典型成果:
无
用户须知:
收费标准:
面议