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精密单面软抛光机(抛光液非循环)
型号:ASP-910
制造厂商:韩国AM技术公司
购置日期:
生产国别:韩国
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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
晶体半导体材料的超精密抛光,精抛光工艺。
主要技术指标:
在厂商指定工艺参数条件下,精抛光2英寸蓝宝石衬底的材料去除率为1微米,表面为镜面无划痕无损伤,表面粗糙度小于1纳米,厚度差小于3微米。
服务内容:
服务典型成果:
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