仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
退火、氧化
主要技术指标：
1、常压退火，温度控制显示精度全量程0.1°C；炉体外部三点控温，各个SPIKE测量点都采用双热电偶，在一只热电偶断路时另一只能继续完成工艺；工艺器期间，炉体内部使用profile精确控温模式。
2、程序控制单元，气体/压力控制精度±0.5%；
服务内容：
100片6英寸、100片四英寸基片或100片两英寸基片退火氧化，工艺气体N2/O2。
服务典型成果：
285nm SiO2热氧化
用户须知：
O2退火工艺必须提前一天预约，或致电0512-62872630姬荣坤/杨磊咨询。
收费标准：
面议