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非催化生长石墨烯气相沉积设备
型号:BTF-1200C-II-500A-PECVD
制造厂商:安徽贝意克设备技术有限公司
购置日期:
生产国别:中国
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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
实现在蓝宝石、氮化镓、氮化镓基LED衬底上实现非催化生长石墨烯. 
主要技术指标:
1、加热系统含集成部分 额定功率 9KW 额定电压 380V/50HZ 最高温度 1200℃(1 hour) 使用温度 ≤1100℃ 炉管尺寸 Φ150*1650mm。 加热长度 200+200mm 恒温长度 230mm 加热元件 电阻丝 2、射频电源 信号频率 13.56 MHz±0.005% 功率输出范围 0W~500W 最大反射功率 100W 射频输出接口 50 Ω, N-type, female 功率稳定度 ≤5W 谐波分量 ≤-50dbc 供电电压 单相交流(187V-253V) 频率50/60
服务内容:
在蓝宝石、氮化镓、氮化镓基LED衬底上实现非催化生长石墨烯
服务典型成果:
用户须知:
苏州大学大型精密贵重仪器设备管理办法  苏州大学大型仪器设备收费管理暂行办法  苏州大学大型仪器设备共享管理办法(试行)
收费标准:
面议
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