仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
四英寸碳纳米结构及硅、锗纳米结构生长系统
主要技术指标：
增强等离子化学沉积和热化学沉积四英寸处理腔，最高价热温度900度 ,升温速度300度/秒，5组加热器。通过搞流量氮气冷却,在30分钟内从800度降到常温。工艺气体流量控制器，管路真空度达到lE-9 L/s 等离子发生器，最大电压,电流,功率为800V、2.5A、lKW样式为直流，可变频率(1~100kHz)
主要功能用途: 基于等离子体增强化学气相沉积方法的4英寸碳纳米结构 (包括碳纳米管、石墨烯)和 硅、锗纳米线生长系统。
附件:
服务内容：
碳、硅及锗纳米管线生长合成
服务典型成果：
无
用户须知：
苏州大学大型精密贵重仪器设备管理办法
苏州大学大型仪器设备收费管理暂行办法
苏州大学大型仪器设备共享管理办法（试行）
收费标准：
面议