仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
采用超声喷胶喷头，使用高压氮气将光刻胶液滴打碎，形成雾状喷射，喷在起伏结构的表面，形成均匀的光刻胶膜层。
主要技术指标：
喷胶范围：8英寸（向下兼容） 喷胶厚度均匀性：<10%@10μm 喷胶结构深宽比：<1 雾滴尺寸：D50<10um 热板温度范围：常温～150℃ 运动精度：0.1mm
服务内容：
提供喷胶服务
服务典型成果：
为客户样品进行喷胶
用户须知：
本设备需要培训考核通过方可独立操作
收费标准：
面议