仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
用于半导体晶圆涂胶显影工艺制作
主要技术指标：
涂胶膜厚均匀性3%以内
热板温度均匀性3%以内
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
2000元/时