仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
探针式 重复性 分辨率
主要技术指标：
台阶高度重复性: 7.5Å,1σ在1um标准台阶上；
最大晶圆尺寸：200mm；
最大样品厚度：25.4mm （1 in.) ；
每次扫描数据点：最多可达60，000数据点；
扫描长度范围：标配最大50mm；
垂直范围：标配262um；可选1mm；
最大垂直分辨率：1Å (6.55微米垂直范围下）。
用于测量台阶高度（膜厚）和表面纹理。
对于MEMS，纳米技术和半导体应用都非常方便。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
面议