仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
CP测试
主要技术指标：
额定电压 100~240V 50/60Hz
尺寸（W*D*H） 1180*970*1450mm
设备重量 650kg
测试类型 DC-IV/DC-CV/pulsed IV
晶圆级可靠性 高温/低温/长期测试
chuck XY移动分辨率 0.5μm
chuck XY移动重复精度 ±2μm
chuck Z移动分辨率 0.2μm
chuck Z移动重复精度 ±1μm
chuck旋转角度分辨率 0.0004°
chuck旋转角度重复精度 ＜1μm
CDA 6bar
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
询价