仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
如图
主要技术指标：
最小分辨率: O.35um
对准精度: 0.12um
CD均匀度:<3%
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
1. 晶圆类型：硅片
2. 晶圆尺寸：6寸(150mm)
3. 晶圆平边尺寸：57.5±2.5mm
4. 晶圆厚度：400-750um
收费标准：
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