仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
针对不同材料化工芯片研发，该设备结合超高精度加工平台极大程度拓展了飞秒激光加工系统的工作能力，将单一波长的飞秒激光脉冲变成从紫外到中红外范围波长连续可调，从而使得飞秒激光能够处理多种不同材料，预期在多材料化工芯片加工应用与探索中将发挥重要作用。
主要技术指标：
1. 飞秒激光器
1.1 中心波长：1028±5 nm；
★1.2输出功率： 40 W；
★1.3 最大单脉冲能量：>0.4mJ
1.4 重复频率：100-2000kHz
★1.5 脉冲宽度：< 290fs
1.6 光束质量：TEM00, M2<1.2
2. 光参量放大器
2.1 波长调谐范围：630-2600nm
2.2 峰值转换效率：>9%(S)
>4%(I)
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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