仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
全自动操作，自动切换，高低压吹扫，独立调压，进出口过滤，实时监控，管路水氧小于10ppb，颗粒大雨等于0.1um小于1颗
主要技术指标：
特气柜尺寸：单瓶W600＊D704＊H2265,双瓶：W800＊D662＊H2265,控制电源：220VAC,50HZ,500W,加热电源：220VAC,50HZ,1-2KW,吹扫：PN2,1/4’MVCR接口，高压保压HPN2,1/4’MVCR接口，抽真空GN2,1/4’MVCR接口，VENT排空管：1/2；MVCR接口，柜体抽风OD150MM,硅烷810m3/hr,其他204m3/hr
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
询价