
仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
通过对同一样品不同层面的实时扫描成像,进行图像叠加可构成样品的三维结构图像
主要技术指标:
1. 对于2μm宽度的条纹标准样品,宽度测量可重复性≤10nm;
2. 对于780μm高度的标准样品,高度测量可重复性≤20nm。
服务内容:
服务典型成果:
用户须知:
收费标准:
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