仪器详情
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功能/应用范围：
超高分辨率电镜联用系统可完成复杂的纳米操作，搭载飞行时间二次离子质谱能完成从H 开始的轻元素检出分析和微量元素分析工作，结合能谱仪和 EBSD，可以完成微区成
分及晶体结构取向分析。
主要技术指标：
离子束分辨率：2.5 nm @ 30 kV
TOF -SIMS 质谱分辨率：不低于 800，质量
数范围不小于 1-2500
元素含量检出限：ppm 量级
元素范围：从 H 开始的任意元素
EBSD：在线标定速度高达 4500 点/秒
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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