仪器详情
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功能/应用范围：
双束电镜与飞秒激光联用系统主要用于纳微米尺度下的切割、加工，透射样品制备等工作。
飞秒激光加工系统可以有效扩大聚焦离子束系统的加工范围，可以使系统在微米及纳微米尺
度实现联用加工分析。
主要技术指标：
离子束分辨率：3 nm @ 30 kV
激光器脉冲宽度：优于 350 fs
激光最高刻蚀率：
EDS 能量分辨率：优于 127 eV
EBSD 花样采集速度：945 花样 /s
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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