0512-65246055
纳米真空互联实验站（NANO-X）
主管部门：中国科学院
依托单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
类别：公共实验装置
江苏省苏州市苏州工业园区若水路385号
纳米真空互联实验站（Nano-X）是世界首个按国家重大科技基础设施标准在建的集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域大科学装置。纳米真空互联实验站通过超高真空管道把各功能设备相互连接，解决了传统超净间模式中难以解决的尘埃、表面氧化和吸附等污染问题。纳米真空互联实验站由具有若干综合功能的材料制备平台、器件工艺平台、...
