仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
主要技术指标：
温度控制显示精度全量程0.1°C； 三点控温是SPIKE测量点都使用双热电偶，在一只热电偶断路时另一只能继续完成工艺； 程序控制单元，气体/压力控制精度±0.5%； 样品尺寸及片数，一次最多可以装载50片6英寸、50片四英寸基片或50片两英寸基片； 5上炉管氧化合成最高温度1150度，可以进行干氧氧化和氢氧合成湿氧氧化，通氮气作为 保护气体。 下炉管退火温度最高可达600度，可以通氮气作为保护气体。 氧化工艺必须提前一天预约。
用途
氧化炉由氧化炉管和退火炉管两个炉管组成，上炉管是氧化炉管，主要用于
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
通工艺气体时收费为600元/小时，升降温时间为300元/小时。60分钟为基本时间单元。