仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
ATLAS器件仿真系统使得器件技术工程师可以模拟半导体器件的电、光和热行为。可分析所有二维和三维半导体技术的直流、交流和时域响应。在并行机器上，高效和稳定的多线程算法在保持精度的同时大大减少的仿真时间。
主要技术指标：
该工艺仿真系统可迅速和精确地模拟应用在CMOS 、双极、SiGe/SiGeC、SiC、SOI、III-V、 光电子、MEMS 和有源器件技术的所有关键加工步骤，如离子注入、扩散、氧化、物理蚀刻和淀积、光刻、应力成型和硅化。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
200元/小时（基本单位时间为一小时）