仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
获得原子级表面清洁的样品，以备后续测试或工艺过程
主要技术指标：
离子源功率：≤500 W
设备真空度：背底10-8 Torr；
反应气体：N2；H2；Ar
样品加热温度：不超过800℃
工作距离：180~230 mm
样品台转速：0-30 RPM
关键尺寸：入射角与表面法线25°
可应用的样品尺寸：2英寸
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
询价