仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
功能：三维纳米结构加工应用：微纳结构加工
主要技术指标：
1. fs光纤激光器，脉冲长度大于120fs，重复频率80MHz，平均功率大于120mW，中心波长780nm； 2. 加工面积：100x100mm2，扫描面积100x130mm2; 3. 配置透镜： 1） x100，NA=1.4, WD=170um; 2） x63，NA=0.75, WD=1.7mm; 4. 夹具： 1）10x30mmΦ，适用基底厚度170um; 2）3x2’’Φ，适用基底厚度525um; 3）1x4’’Φ，适用基底厚度525um; 5. 隔震平台900x900mm2; 6. 定位精度：
服务内容：
微纳结构加工
服务典型成果：
无
用户须知：
苏州大学大型精密贵重仪器设备管理办法
苏州大学大型仪器设备收费管理暂行办法
苏州大学大型仪器设备共享管理办法（试行）
收费标准：
面议