
仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
用于导光器件所需微结构模仁的快速制作
主要技术指标:
1.软硬件自主研发灵活可控。
2.网点直径范围20~100um均可光刻。
3.光刻速度最快可达2million dot/H。
4.可支持110寸以下幅面网版加工。
5.定位精度可达到5um。
服务内容:
服务典型成果:
用户须知:
收费标准:
5000~8000