仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
对材料进行微纳米表征、微纳加工和TEM样品定点制备等。
主要技术指标：
二次电子分辨率在最佳工作距离时分辨率：：0.6nm@15kV；1.2nm@1kV
样品加工后，能快速切换到电子束检查与成像
背散射电子分辨率： 1.6nm@15kV
电子束和离子束交叉点、分析工作距离：4.0mm
加速电压：200V-30KV (电压范围连续可调)
束流强度：1pA - 100nA
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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