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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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椭偏仪
型号:GES5FTIR
制造厂商:SOPRA
购置日期:
生产国别:美国
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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
利用激光光源发射出单色光和红外线,经起偏器后变成偏振光,在样品表面反射后,光的振幅和位相发生变化,由此来测量Si衬底上薄膜的厚度。
主要技术指标:
1. 可见光分光计(UV-Visible)<br>焦距:750mm;标准光谱范围:210-900nm;离差为550nm:0.45nm/mm;波长准确度0.04nm到313nm;在10nm的放射光下,偏离光小于0.01%。2. 近红外项目(NIR 3 OPTION)<br>能借助分光镜完成测量,能测的近红外转换光谱范围从0.9微米到2.0微米;利用电子学和光学插件模块对近红外测量进行支持。3. 红外变角度傅立叶变换椭偏法(FT-IRSE OPTION)光谱范围:1.44微米到17微米;光谱精确性:±0.2cm-1。
服务内容:
仪器设备功能相关的样品测试、分析及技术咨询
服务典型成果:
用户须知:
对外服务时间:每周1-5。参数:1. 可见光分光计(UV-Visible)<br>焦距:750mm;标准光谱范围:210-900nm;离差为550nm:0.45nm/mm;波长准确度0.04nm到313nm;在10nm的放射光下,偏离光小于0.01%。2. 近红外项目(NIR 3 OPTION)<br>能借助分光镜完成测量,能测的近红外转换光谱范围从0.9微米到2.0微米;利用电子学和光学插件模块对近红外测量进行支持。3. 红外变角度傅立叶变换椭偏法(FT-IRSE OPTION)光谱范围:1.44微米到17微米;光谱精确性:±0.2cm-1。。附件:打印机一台,电脑一套。
收费标准:
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