仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
用物理气相沉积法生长氮化铝单晶
主要技术指标：
1）炉内最高温度：2200℃；实验需求温度范围1800-2200℃。
2）最大升温速率：120℃/min。
3）极限真空度：≤4×10－5pa。
4）压升率：≤0.67 Pa/h，气压的调节范围：在0 ～150kpa。
5）分子泵：抽速1200L/s。
6）测温仪：上下两路高温红外测温仪，测量范围0-3000℃。侧部钨铼热电偶，测量范围0-2300℃。
7）热场保温材料：钨热屏，厚度0.3mm。
8）坩埚运动系统：快速（0-750mm/min）、慢速(0.06-0.6mm/h)均可调控。
服务内容：
无
服务典型成果：
无
用户须知：
对外服务时间:。参数：1 炉内最高温度：2500℃；实验需求温度范围1800-2350℃。
2 实验材料： 高纯氮化铝粉料。
3 最大升温速率：120℃/min。
4 极限真空度：≤5×10－5pa。
5 压升率：≤0.67 Pa/h，气压的调节范围：在0 ～150kpa。
6 分子泵：抽速1200L/s。
。附件：0
收费标准：
面议