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金属有机物化学气相沉积机
型号:31*2” CCS
制造厂商:Aixtron
购置日期:
生产国别:美国
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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
使用化学气相沉积方法,在硅衬底以及蓝宝石衬底上外延生长氮化镓、氮化铝等三五族半导体材料,用于半导体照明、半导体激光器以及电力电子器件的研发与应用。
主要技术指标:
使用化学气相沉积方法,在硅衬底以及蓝宝石衬底上外延生长氮化镓、氮化铝等三五族半导体材料,用于半导体照明、半导体激光器以及电力电子器件的研发与应用。
服务内容:
使用化学气相沉积方法,在硅衬底以及蓝宝石衬底上外延生长氮化镓、氮化铝等三五族半导体材料,用于半导体照明、半导体激光器以及电力电子器件的研发与应用。
服务典型成果:
使用化学气相沉积方法,在硅衬底以及蓝宝石衬底上外延生长氮化镓、氮化铝等三五族半导体材料,用于半导体照明、半导体激光器以及电力电子器件的研发与应用。
用户须知:
《纳米加工平台用户指南》《纳米加工平平台用户培训流程》《纳米加工平台工艺加工及设备预约规则》
收费标准:
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