仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
FIB200目前主要用以0.18um 以上集成电路修补包括Pt互连，新型辅助气体搭配离子束快速切割,低阻值探点的快速生成，电阻模拟，X-section 和TEM lamella 的制备等．
主要技术指标：
分辨率５nm，30kV加速电压，离子束流1-11000pA
服务内容：
无
服务典型成果：
无
用户须知：
对外服务时间:工作日。参数：分辨率５nm，30kV加速电压，离子束流1-11000pA。附件：Pt互连GIS和新型增强型特种气体快速刻蚀GIS.
收费标准：
面议