仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
激光分子束外延系统（LMBE）是在传统的分子束外延（MBE）和脉冲激光沉积系统（PLD）的基础上发展而来的，PLD与提供原位监测的反射高能电子衍射仪（RHEED）相结合，使得系统能够实现类似于MBE的，单原子层精度的薄膜生长。LMBE属于高端薄膜制备设备，适用于生长各种纳米尺度的单层膜或多层膜。
主要技术指标：
可以实现高质量氧化物薄膜的层层生长；真空度可<1e-7mbar;生长温度可>750℃；有6个靶材位置。
服务内容：
各种薄膜的可控制备
服务典型成果：
用户须知：
遵照中国科学技术大学公共实验中心对外共享统一规定
收费标准：
面议