仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
主要用于硅基薄膜太阳电池的制备。可用于科学研究和中试生产。
能够沉积未掺杂或掺杂的非晶/微晶等不同类型的硅基薄膜，也包括沉积硅基薄膜电池的功能材料层，具有制备完整硅基薄膜太阳电池的能力。
操作方式：手动、半自动、全自动方式运行。
样品传递采用公司专利产品——高真空机械手完成
主要技术指标：
1、腔室配置及真空系统
1个预抽室，1个样品传递室（配装高真空机械手），3～6个样品制备室；
样品制备室包括：PECVD室和PVD（磁控溅射）室，数量由用户选定；
所有腔室有独立的分子泵真空机组；
腔体带烘烤系统。
2、系统控制
控制系统采用计算机控制，能够实现工艺程序自动化；
触摸屏控制，动画实时显示工艺过程的状况和提示。
3、腔室材质
采用304号不锈钢（奥氏体）或以上质量材质（由用户选定）。
4、薄膜沉积
所有衬底均向上沉积；
5、传输系统
服务内容：
无
服务典型成果：
无
用户须知：
无
收费标准：
面议