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硬质薄膜镀膜系统
型号:ZH450
制造厂商:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
购置日期:
生产国别:中国
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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
高真空阴极弧源放电+磁控溅射联合镀膜。
主要技术指标:
★高真空阴极弧源放电+磁控溅射联合镀膜系统,系统用于直径10mm×300mm管材外表面或30×30×5mm板材表面以及刀具和模具上沉积高性能冶金和耐磨擦镀膜。极限真空:溅射室(经烘烤)真空度极限≤8.0×10-5Pa;系统漏率:停泵关机 12小时后,溅射室真空度可达≤10Pa。★样品柱有效高度300mm,样品架加脉冲偏压(-1KV),样品转架可公转和自转(公转和自转由2个电机控制),以及公转到位后摆动,并且样品转架预留有扩展功能的接口(如小柱状、管状工件挂架及其拨齿转位功能)。
服务内容:
服务典型成果:
用户须知:
收费标准:
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