仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
, 制备各种光学介质膜如Tiu、Sio2，ZrO、Al2O3等 ,
主要技术指标：
光学薄膜泛指在器件表面用物理化学等方法沉积，利用光的干涉现象以实现增透、高反射、滤光、分光等光学现象。例如采用减反射膜后可使复杂的光学镜头的光通量损失成十倍地减小；采用高反射比的反射镜可使激光器的输出功率成倍提高；利用光学薄膜可提高太阳能电池的效率和稳定性。
基本指标：
真空配置：真空系统采用干泵+冷凝泵，
光学膜厚仪监控波长范围：350-1100nm，波長精度：<±1nm，
配置射频辅助等离子源，离子流密度分布均匀，
装片：6片六英寸衬底，或6片四英寸，30片两英寸衬底。
基底最高加
服务内容：
, 制备各种光学介质膜如Tiu、Sio2，ZrO、Al2O3等 ,
服务典型成果：
光学实验
用户须知：
采取网上预约或电话预约
收费标准：
1000元/小时＋470元/次工艺，30分钟为基本时间单元