仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
1.半导体材料退火和烘烤
2.光刻胶UV和热板固化
主要技术指标：
温度均匀性：50-100℃（±0.5）；100-250℃（±2.5）
温度范围：50-300℃
UV均匀性：±5%
UV强度范围：120-280mW/cm²
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
300元/时