仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
光刻工艺
主要技术指标：
1.对位精度±0.5μm
2.分辨率可以达到0.8μm
3.光强均匀性±3%
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
校内用户400元/小时，校外用户800元/小时（30分钟为基本时间单元）