仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
主要技术指标：
主要功能:半导体材料及器件结构及缺陷分析
主要技术指标:采用2KW密封X光管，X射线波长为 Cu Kα1（0.154056nm）；- 配备高精度1/4园尤拉样品台，具有ω、2θ、φ、χ四个转动轴和X、Y、Z三个平动轴；- 具有φ扫描、χ扫描、ω扫描、ω/2θ扫描以及2θ扫描等多种工作方式，其中ω/2θ扫描范围0~168?, 精度0.0001?；φ扫描范围 360?, 精度0.01?；χ扫描范围 -10?~90?, 精度0.01?；- 高强度60mm Goebel镜，发散度≤110°；- Ge220和
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
双晶、三轴晶摇摆曲线，ω/2θ扫描 300 无