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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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PLD
型号:LMBE450
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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
沉积高质量薄膜
主要技术指标:
真空极限: 超高真空(优于2×10-8Pa,经烘烤除气后) 样品台加热温度:RT-800℃ 样品尺寸:最大2英寸 激光波长:248nm 激光最大脉冲能量:700mJ 激光脉冲频率范围:1~10Hz
服务内容:
服务典型成果:
用户须知:
收费标准:
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