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波面干涉仪
型号:DynaFiz12''
制造厂商:ZYGO CORPORATION
购置日期:
生产国别:美国
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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
提供可旋转的3维图像,等轴图,等高线图,斜率图,线状曲线图; 自动控制照射在摄像机上的光强,以保证最佳的测量信噪比; 每次测量都可以同时显示在显示器上; 软件提供以下数据剪辑:矩形,椭圆,正方形,圆,多边形以及曲线连接(自由形态); 软件有计算以下参数的功能: 36个Zernike系数、峰—谷值、标准偏差、Strehl系数(比率)、方差、rms误差和rms剩余误差(残差) Zernike 系数(多项式系数)的编辑,包括:输入各项,产生,删除,存储,倒转,旋转,相加和相减 可计算PSF,MTF,环绕能,其结果可以在相同屏幕上同时观察到 可求参考基准,并能自动发现参考基准的标记中心
主要技术指标:
菲索型, 共光路; 最大测试口径:300mm;激光波长:633nm; 激光频率稳定度优于:0.0001nm; 要求相干长度≥100m; 最大输出功率:≥5mw; CCD阵列:≥1.2K x 1.2K; 帧速≥50Hz; 光学变焦,分立式,1X;1.7x;3x变焦; 在100mm测试通道下,测试33mm口径样品的时候,保证分辨率≥1.2K x 1.2K。 300mm平面镜面形:优于1/15波长PV; 参考球面镜,面形精度要求: 优于1/10波长PV; 重复性精度: RMS重复性 ≤ λ/ 1
服务内容:
对反射镜、光栅等元件表面面型进行测试 分析检测
服务典型成果:
用户须知:
遵照中国科学技术大学公共实验中心对外共享统一规定
收费标准:
面议
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